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本技术公开了一种升降销夹具及加热基座,升降销夹具包括:本体,所述本体包括相连的安装部和夹持部,所述安装部上设有销孔,所述夹持部设有多个夹持体,各所述夹持体围绕所述销孔设置;紧固件,设于所述本体上,所述紧固件包括第一紧固件,所述第一紧固件围绕...该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。
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本技术公开了一种升降销夹具及加热基座,升降销夹具包括:本体,所述本体包括相连的安装部和夹持部,所述安装部上设有销孔,所述夹持部设有多个夹持体,各所述夹持体围绕所述销孔设置;紧固件,设于所述本体上,所述紧固件包括第一紧固件,所述第一紧固件围绕...