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本申请公开了沉积设备。沉积设备包括设备主体、载片舟和加热件。设备主体具有工艺腔体。载片舟可拆卸安装于工艺腔体，载片舟用于承载堆叠设置的基片，并且用于将堆叠设置的基片的至少一面遮掩。加热件安装于设备主体，与载片舟的至少其中一面相对且间隔设置，...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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