下载一种电离分解空气式抽真空装置的技术资料

文档序号:43934710

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本发明涉及真空抽吸领域,具体是涉及一种电离分解空气式抽真空装置。包括真空泵,还包括:分解单元,与真空泵相连,包括中转机构、分解机构和若干毛细管,分解机构设置在真空泵的旁侧,分解机构包括螺旋管道,螺旋管道的一端与真空泵的输入端连通,中转机构设...
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