【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空抽吸领域，具体是涉及一种电离分解空气式抽真空装置。
技术介绍
1、随着工业自动化水平的不断提高，压力变送器作为工业自动化系统中的关键元件，其性能的稳定性和测量的准确性对于整个系统的运行至关重要。特别是在高精度、高要求的测量环境中，但是传统的抽真空装置往往无法满足快速、高效且准确的抽真空需求。以传统抽真空机械泵举例，因其抽气速度相对较慢且难以精确控制。在需要快速达到高真空度的情况下，其抽气效率无法满足要求 。例如在半导体制造过程中，需要在短时间内将反应腔室抽至极高真空度，传统机械泵的抽气速度远远跟不上生产节奏。
2、同时，许多传统抽真空装置的极限真空度有限，难以达到高精度测量环境所需的超高真空度。比如一些常见的机械泵，其极限真空度通常在几十帕到几百帕之间，无法满足高端制造等领域对真空度低于 10-3pa甚至更低的要求，若没办法有效地将所有气体抽出，在对一些零件或者材料的精密测试过程中，对应的检测数据也会受到影响。
3、因此，本专利技术提出一种电离分解空气式抽真空装置，旨在解决现有技术中的问题，提高...
【技术保护点】
1.一种电离分解空气式抽真空装置，包括设置在工作台（49）上方的真空泵（46），其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种电离分解空气式抽真空装置，其特征在于，锥形电场（2）还包括锥形壳体（5）、针状电极（4）和若干环形电极（3），锥形壳体（5）通过支架固定设置在衔接锥筒（23）远离螺旋管道（28）的一侧，针状电极（4）与锥形壳体（5）的小端固连且与高压电源的正极电性连接，若干环形电极（3）直径自小到大依次沿锥形壳体（5）内侧排列设置，环形电极（3）与锥形壳体（5）固连。
3.根据权利要求2所述的一种电离分解空气式抽真空装置，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种电离分解空气式抽真空装置，包括设置在工作台（49）上方的真空泵（46），其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种电离分解空气式抽真空装置，其特征在于，锥形电场（2）还包括锥形壳体（5）、针状电极（4）和若干环形电极（3），锥形壳体（5）通过支架固定设置在衔接锥筒（23）远离螺旋管道（28）的一侧，针状电极（4）与锥形壳体（5）的小端固连且与高压电源的正极电性连接，若干环形电极（3）直径自小到大依次沿锥形壳体（5）内侧排列设置，环形电极（3）与锥形壳体（5）固连。
3.根据权利要求2所述的一种电离分解空气式抽真空装置，其特征在于，电离机构（1）还包括波纹罩（6），波纹罩（6）的一端与锥形壳体（5）固连，另一端与衔接锥筒（23）固连。
4.根据权利要求1所述的一种电离分解空气式抽真空装置，其特征在于，中转机构（21）还包括中转架（24）和两个阻尼杆（25），中转架（24）与衔接锥筒（23）转动连接，两个阻尼杆（25）分别设置在中转架（24）的下端，阻尼杆（25）的上端与中转架（24）固连，下端与工作台（49）固连。
5.根据权利要求1所述的一种电离分解空气式抽真空装置，其特征在于，分解单元（20）还包括柔性管（47）和定位架（48），柔性管（47）的一端与螺旋管道（28）同轴线转动连接，另一端与真空泵（46）的输入端连通，定位架（48）与工作台（49）固连且与真空泵（46）的下端固连。
6.根据权利要求1所述的一种电离分解空气式抽真空装置，其特征在于，分解机构（27）还包括中转盘（22），中转盘（22）与衔接锥筒（23）的大端同轴线固连，若干毛细管（26）沿中转盘（22）圆周方向等角度阵列设置。
7.根据权利要求1所述的一种电离分解空气式抽真空装置，其特征在于，电离机构（1）还包括网架（8）、清洁电机（10）、清洁齿轮（11）、减速齿轮（12）、清洁齿圈（13）和若干伞齿架（19），网架（8）通过圆盘与锥形壳体（5）的小端固连，清洁电机（10）与网架（8）远离锥形壳体（5）的一端固连，清洁齿轮（11）与网架（8）转动连接且与清洁电机（10）的输出端同轴线固连，减速齿轮（12）与网架（8）转动连接且与清洁齿轮（11）相啮合，清洁齿圈（13）与网架（8）转动连接且与减速齿轮（12）相啮合，若干伞齿架（19）沿清洁齿圈（13）圆周方向等角度阵列设置，伞齿架（19）的一端与清洁齿圈（13）固连，另一端与对应的清洁刷（9）转动连接。
8.根据权利要求7所述的一种电离分解空气式抽真空装置，其特征在于，电离机构（1）还包括定位齿圈（16）、若干驱动齿轮（15）、若干主伞齿（17）和若干副伞齿（18），定位齿圈（16）与清洁齿...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡华能，
申请(专利权)人：厦门纵能仪表有限公司，
类型：发明
国别省市：
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