下载用于光学测量的双状态抗扰动一体式夹持装置的技术资料

文档序号:43931945

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本发明涉及一种用于光学测量的双状态抗扰动一体式夹持装置,本发明的原理在于:明所设计的夹持装置将斐索干涉仪与被测镜夹具之间通过连接架模块的刚性连接使整个干涉测量系统实现一体化连接;所设置的保护帘模块与被测镜夹具模块能够保护干涉腔,其中保护帘模...
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