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使用于通过放电来激励包含氟的激光气体的气体激光装置的放电电极具备阴极和阳极。阳极与阴极对置地配置，包括：电极基材，其包含有金属；以及涂层，其覆盖电极基材的与长度方向平行的侧面的一部分，且包含有绝缘材料。涂层包含：第一部分，其覆盖侧面中的第一...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。

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