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本申请提供了一种驱动机构的保湿控制方法、晶圆清洗装置、存储介质及电子设备，驱动机构包括轮体和旋转轴，旋转轴与轮体同步旋转，旋转轴内部设置第一流道，轮体内部包括沿轮体的径向设置的第二流道，第一流道用于向第二流道输送流体，流体通过第二流道从轮体...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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