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本发明涉及精密机械制造技术技术领域，且公开了一种高效率晶圆测试探针台，包括底座，所述底座的上表面固定连接有载物基座与运动控制系统，所述运动控制系统的输出端固定连接有显微镜，所述载物基座的上表面固定连接有载物台，所述底座的内部螺纹连接有同步调...
该专利属于山东联华智成信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东联华智成信息科技有限公司授权不得商用。

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