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本发明公开了一种真空晶体管及其制作方法、阵列基板，该真空晶体管包括：衬底基板；发射极、收集极和环形栅极，所述发射极、收集极和所述环形栅极之间均异层设置且相互间隔；所述环形栅极在所述衬底基板的正投影环绕所述收集极在所述衬底基板的正投影，且间隔...
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