下载一种高纯度三氟化硼11的纯化方法及装置的技术资料

文档序号:43926600

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本发明涉及一种高纯度三氟化硼11的纯化方法,包括以下步骤:S1、将三氟化硼11的纯化装置进行氮气吹扫并置换,保持水分含量<1ppm;S2、将三氟化硼11原料经过吸附除杂,脱除部分HF杂质,得到混合气;S3、将S2得到的混合气通过精馏脱除轻组...
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