下载闸门开关装置以及闸门控制方法的技术资料

文档序号:43925368

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本发明属于碳化硅材料制造技术领域,公开了一种闸门控制方法以及闸门开关装置。闸门控制方法,包括响应于罩壳内第一腔体和/或第二腔体的气氛环境构建完成所产生的第一信号,驱动闸门自第一位置运动至第二位置,暴露所述罩壳上位于第一腔体和第二腔体之间的开...
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