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本发明涉及一种微机电加速度传感器(1)，具有衬底(2)、第一传感器芯(4)和第二传感器芯(5)。传感器芯(4、5)侧向彼此并排地布置在所述衬底(2)的上侧(3)上并且分别具有振动质量(6)、固定电极(7)和可运动电极(8)。固定电极(7)布...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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