【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微机电加速度传感器。
技术介绍
1、用于测量加速度和旋转速率的微机电惯性传感器对于汽车和消费领域的各种应用已经大批量制造和使用。对于具有与衬底平面(xy平面或者说平面内方向)平行的(横向的)探测方向的电容式加速度传感器，优选使用具有长电极指的弹簧-质量-系统。存在固定的和可运动的电极指，所述电极指彼此相对地布置并且分别形成板式电容器。在加速度作用下，由于惯性力导致振动质量和与振动质量固定连接的可运动电极指的偏转。固定电极和可运动电极之间的电极间距变化会导致电容变化，该电容变化是对于作用的加速度的量度。
2、一个重要的趋势是器具或组件的微型化，由此能够使这种加速度传感器经受新的负载或干扰机制。例如，温度梯度会影响加速度传感器。如果运动设备，例如手机中的加速度传感器直接位于热源(例如cpu/gpu)旁，则不但传感器温度变化，而且在加速度传感器内至少暂时附加地形成温度落差(温度梯度)。
3、因为存在不同气体温度的区域，温度梯度导致加速度传感器中的辐射效应。热气体颗粒比冷气体颗粒具有更高的动能、速度和从...
【技术保护点】
1.一种微机电加速度传感器(1、29、31、32、36、37、38、41)，具有：
2.根据权利要求1所述的微机电加速度传感器(1、29、31、32、36、37、38、41)，
3.根据权利要求2所述的微机电加速度传感器(1、29、31、32、36、37、38、41)，
4.根据前述权利要求中任一项所述的微机电加速度传感器(1、29、31、32、36、37、38、41)，
5.根据前述权利要求中任一项所述的微机电加速度传感器(1、29、31、32、36、37、38、41)，
6.根据前述权利要求中任一项所述的...
【技术特征摘要】
1.一种微机电加速度传感器(1、29、31、32、36、37、38、41)，具有：
2.根据权利要求1所述的微机电加速度传感器(1、29、31、32、36、37、38、41)，
3.根据权利要求2所述的微机电加速度传感器(1、29、31、32、36、37、38、41)，
4.根据前述权利要求中任一项所述的微机电加速度传感器(1、29、31、32、36、37、38、41)，
5.根据前述权利要求中任一项所述的微机电加速度传感器(1、29、31、32、36、37、38、41)，
6.根据前述权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：C·纳格尔，D·古格尔，M·霍夫曼，M·哈塔斯，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：
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