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本发明提供一种能够提高检测基板朝向正确的精度的基板匣盒操作装置、基板处理装置、基板处理方法、半导体器件的制造方法及记录介质。具备：载台，其载置收容有多个基板的匣盒，其中该多个基板具有方位确定部；反射体，其设在规定光路的一端，其中该规定光路设...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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