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一种静态膨胀法真空标准装置制造方法及图纸
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文档序号:43923902
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本发明提供了一种静态膨胀法真空标准装置,包括:相连接的一级标准室和二级标准室;若干样品室,分别通过密封阀连接所述二级标准室,若干所述样品室的一端设有活动阀门;抽气系统,用于对所述一级标准室、二级标准室和样品室抽真空;供气系统,用于对所述一级...
该专利属于福建建壹真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建建壹真空科技有限公司授权不得商用。
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