温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶圆检测装置。该晶圆检测装置中，信号发射单元位于晶圆的第一表面一侧，向晶圆的边缘区域发射检测光束；第一信号接收单元位于晶圆的第二表面一侧，接收检测该检测光束透过晶圆和保护层产生的透射光束并输出透射信号；第二信号接收单元位于晶圆...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。