下载用于化学气相沉积的材料、膜生产方法和膜的技术资料

文档序号:43922163

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本发明提供了新颖的用于化学气相沉积的材料、膜生产方法、以及膜。提供了由式(1)表示的用于化学气相沉积的材料。(在该式中,E是氧原子、硫原子、硒原子、或碲原子。R1、R2和R3各自独立地是氢原子或者直链、支链或环状的C1‑7有机基团,并且R1...
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