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本申请涉及一种晶圆背面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质，应用在晶圆缺陷检测领域，包括根据待检测点的位置确定所述显微镜头在所述待检测点的目标焦距序列，根据所述目标焦距序列获取与所述待检测点对应的目标图像序列；将所述目标图像序列中各图像进行图...
该专利属于上海感图网络科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海感图网络科技有限公司授权不得商用。

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