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本发明提供了一种位置检测方法及系统，在基板的每个芯片上设置至少一个检测标记，然后沿行/列方向扫描整个所述基板，以获取若干包含至少一个所述检测标记的基板图像，识别出所述基板图像中的所述检测标记，并获取所述检测标记在所述基板图像中的实际像素位置...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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