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本申请涉及一种半导体结构及其制备方法。该半导体结构包括：衬底；所述衬底包括呈阵列排布的多个有源柱，所述有源柱包括沟道区域，所述沟道区域侧壁具有栅极容置槽；多个栅极；所述栅极包覆对应所述有源柱的所述沟道区域，且所述栅极至少填充所述栅极容置槽。...
该专利属于北京超弦存储器研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京超弦存储器研究院授权不得商用。

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