下载半导体结构及形成方法的技术资料

文档序号:43917862

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体结构及其形成方法,其中半导体结构包括:第一晶圆,第一晶圆具有第一键合面,第一键合面上具有第一键合标记,第一晶圆的边缘侧壁具有第一定位缺口;与第一晶圆相键合的第二晶圆,第二晶圆具有第二键合面,第二键合面上具有第二键合标记,第二晶圆的...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。