下载霍尔传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:43914891

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本申请公开了一种霍尔传感器及其制备方法,其中霍尔传感器包括:衬底、沟道层、势垒层、栅极、第一电极和第二电极、第三电极和第四电极。其中,沟道层设置于衬底上,势垒层设置于沟道层的远离衬底的一侧,栅极设置于势垒层的远离衬底的一侧。第一电极、第二电...
该专利属于合肥美镓传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥美镓传感科技有限公司授权不得商用。

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