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本发明公开了一种电子级三甲基镓的生产装置及其生产方法，其中，该生产装置包括高纯镓镁合金进料器、叔胺类溶剂储罐、稀有气体储罐、合成釜反应器、卤代烷烃储罐、微滤过滤器、减压精馏塔、高温解配釜、高效精馏塔、降膜式蒸发器和成品接收罐；该生产方法具体...
该专利属于北京化工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京化工大学授权不得商用。

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