一种电子级三甲基镓的生产装置及其生产方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电子级三甲基镓的生产装置及其生产方法，其中，该生产装置包括高纯镓镁合金进料器、叔胺类溶剂储罐、稀有气体储罐、合成釜反应器、卤代烷烃储罐、微滤过滤器、减压精馏塔、高温解配釜、高效精馏塔、降膜式蒸发器和成品接收罐；该生产方法具体包括以下步骤：(1)通入稀有气体，加入高纯镓镁合金，再加入叔胺类溶剂，搅拌，同时逐滴加入卤代烷烃进行合成反应；(2)微滤；(3)减压精馏；(4)解配；(5)二次精馏；(6)蒸发，即得。本发明专利技术制得的电子级三甲基镓纯度高于99.9999％，纯度可达6N级别甚至更高，而且操作简单，反应安全平稳，易于控制，合成收率高，产品损耗小，技术成熟，不引入杂质，有利于实现大规模的工业化生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子产业，更具体的说是涉及一种电子级三甲基镓的生产装置及其生产方法。

技术介绍

1、电子级化学品是“芯片”制作过程中的关键性基础化工材料之一，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能以及可靠性都有着十分重要的影响。其中，电子级三甲基镓广泛应用在集成电路、液晶显示、led照明、传感器、激光器、光伏电池等前沿行业中。

2、三甲基镓可用于金属有机化学气相沉积(mocvd)，制备氮化镓、砷化镓、砷镓铝等半导体化合物等，是制造发光二极管等电子元件的镓源。电子级三甲基镓是mocvd工艺技术生产光电材料如氮化镓等的关键mo源原料，为mo源化合物中应用最广泛的金属有机化合物。mo源，即金属有机化合物，是光电半导体材料行业等领域的重要金属来源，是mocvd工艺(即金属有机化学气相沉积工艺)等工艺技术生产制备合成新型半导体光电化合物材料的基础源材料。

3、受益于下游集成电路、led、光伏等产业蓬勃发展拉动，全球三甲基镓需求不断增长。电子级三甲基镓产品纯度需达到99.9999％(6n)水平，高纯三甲基镓技术壁垒高，对生产企业的技术实力要求高本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子级三甲基镓的生产装置，其特征在于，包括高纯镓镁合金进料器、叔胺类溶剂储罐、稀有气体储罐、合成釜反应器、卤代烷烃储罐、微滤过滤器、减压精馏塔、高温解配釜、高效精馏塔、降膜式蒸发器和成品接收罐；

2.根据权利要求1所述的一种电子级三甲基镓的生产装置，其特征在于，还包括减压精馏塔塔顶冷凝器和减压精馏塔塔釜再沸器，所述减压精馏塔塔顶冷凝器和所述减压精馏塔塔釜再沸器分别与所述减压精馏塔循环连接。

3.根据权利要求1所述的一种电子级三甲基镓的生产装置，其特征在于，还包括高效精馏塔塔顶冷凝器和高效精馏塔塔釜再沸器，所述高效精馏塔塔顶冷凝器和所述高效精馏塔塔釜再沸器分...

【技术特征摘要】

1.一种电子级三甲基镓的生产装置，其特征在于，包括高纯镓镁合金进料器、叔胺类溶剂储罐、稀有气体储罐、合成釜反应器、卤代烷烃储罐、微滤过滤器、减压精馏塔、高温解配釜、高效精馏塔、降膜式蒸发器和成品接收罐；

2.根据权利要求1所述的一种电子级三甲基镓的生产装置，其特征在于，还包括减压精馏塔塔顶冷凝器和减压精馏塔塔釜再沸器，所述减压精馏塔塔顶冷凝器和所述减压精馏塔塔釜再沸器分别与所述减压精馏塔循环连接。

3.根据权利要求1所述的一种电子级三甲基镓的生产装置，其特征在于，还包括高效精馏塔塔顶冷凝器和高效精馏塔塔釜再沸器，所述高效精馏塔塔顶冷凝器和所述高效精馏塔塔釜再沸器分别与所述高效精馏塔循环连接。

4.一种电子级三甲基镓的生产方法，其特征在于，采用如权利要求1所述电子级三甲基镓的生产装置，具体包括以下步骤：

5.根据权利要求4所述的一种电子级三甲基镓的生产方法，其特征在于，步骤(1)中，所述高纯镓镁合金中镓和镁的摩尔比为1:(3-6)，粒度为10-1000μm；所述稀有气体为氦气、氖气或氩气；所述叔胺类溶剂为三乙胺、二甲基苯胺、苄基三甲胺或四甲基胍；所述卤代烷烃为溴乙烷、氯乙烷或碘乙烷；所述高纯镓镁合金中镓和卤代烷...

【专利技术属性】
技术研发人员：李群生，
申请(专利权)人：北京化工大学，
类型：发明
国别省市：