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本申请公开了一种体声波谐振器及滤波器，涉及半导体器件技术领域，本申请的体声波谐振器，包括衬底以及依次设置于衬底上的下电极、压电层和上电极，衬底的上表面内凹形成空腔，空腔、下电极、压电层以及上电极在层级方向投影重合的区域为有效谐振区域，上电极...
该专利属于武汉敏声新技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉敏声新技术有限公司授权不得商用。

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