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本公开涉及用于晶圆测试的卡具。该卡具包括：吸盘，具有吸取面；绝缘导热盘，位于吸盘背向吸取面的一侧；控温盘，位于绝缘导热盘背向吸盘的一侧，控温盘、绝缘导热盘及吸盘依次导热连接；以及绝缘连接件，穿过绝缘导热盘将吸盘与控温盘固定。该卡具可以避免吸...
该专利属于杭州长川科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州长川科技股份有限公司授权不得商用。

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