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本申请公开了一种射频能量馈入系统及镀膜设备，其中，射频能量馈入系统包括：匹配器组件，包括：匹配器本体和与匹配器本体连接的连接组件，匹配器本体用于与电源连接；馈入组件，包括导电柱和连接件，导电柱的一端用于与连接组件连接，导电柱的另一端具有连接...
该专利属于广东利元亨智能装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东利元亨智能装备股份有限公司授权不得商用。

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