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本发明公开了一种薄膜表面缺陷检测方法及系统，具体涉及薄膜缺陷检测技术领域；通过在检测系统中引入两组不同方向的光源及多频率光源，结合相机从多个角度采集薄膜表面的反射强度和响应差异数据，提取并分析发射强度波动特征和光源响应偏差特征，以评估检测系...
该专利属于杭州赤霄科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州赤霄科技有限公司授权不得商用。

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