下载一种高密度线性电容及其制备方法、图像传感器的技术资料

文档序号:43908030

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本发明提供一种高密度线性电容及其制备方法、图像传感器,包括:提供基础电容结构;在基础电容结构的顶部形成功能柱,以将基础电容结构的顶部分为第一区域和第二区域;在第一区域和第二区域中形成多层堆叠的扩展电容结构。通过在现有的基础电容结构上形成多层...
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