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一种面向高静压环境的低静压误差谐振差压传感器，涉及微机电系统。用于在高静压条件下实现低静压误差和高灵敏度比值的差压测量。传感器采用单谐振器结构，通过中间膜的微动驱动，实现对流体压力差的精确捕捉。特别在高静压环境下的静压误差控制，通过上下感压...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

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