温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种聚合物二氧化硅异质调制臂的M‑Z光波导温度传感器，包括具有三层膜结构的基底芯片，其从上到下依次包括：高折射率的第一二氧化硅层；低折射率的第二二氧化硅层；基层；在基底芯片的低折射率的第二二氧化硅层上形成有M‑Z光波导结构层，其包...
该专利属于深圳技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳技术大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。