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本技术涉及ALD设备技术领域，具体为一种应用于多反应腔室的特气系统，包括：主源瓶，所述主源瓶连接有用于通入前驱体化学品的进液管道、用于通入携源气体的第一进气管道以及用于向各反应腔室出气的第一出气管道，所述主源瓶的外壁设置有加热装置；多个缓存...
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