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本技术属于掩膜版搬运技术领域，具体公开了一种适用于AGV与光刻机进行对接交互的装置，包括安装在光刻机上的上板架，所述上板架的顶部连接有横梁，所述横梁和所述上板架的底部均安装有反射板，所述上板架的下部连接有尺寸调节器，所述尺寸调节器上连接有罩...
该专利属于成都路维光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都路维光电有限公司授权不得商用。

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