下载一种改进型半导体键合设备的技术资料

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本技术提供一种改进型半导体键合设备,包括:基座,其上端分别设置有键合加热板及工程支座;升降组件,设于工程支座上,包括升降台、压头连接件以及驱动压头连接件沿升降台升降的驱动机构;金属压头,可拆卸连接于压头连接件下端且正对键合加热板设置,通过设...
该专利属于半水科技(厦门)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过半水科技(厦门)有限公司授权不得商用。

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