下载一种高压下原位测量半导体材料电学性质的方法的技术资料

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本发明公开了一种高压下原位测量半导体材料电学性质的方法,包括在金刚石对顶砧面上形成金属电极的电极形成步骤,所述电极形成步骤包括:在金刚石对顶砧面上形成一层钼电极膜;对所述钼电极膜进行图形化,以形成所需的电极图案;在所述钼电极膜上形成一层用作...
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