下载一种芯片光刻机的光刻版取料装置的技术资料

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本技术涉及芯片光刻机技术领域,具体为一种芯片光刻机的光刻版取料装置,包括底架,所述底架的顶端正上方设置有物料台,所述物料台的顶端正上方设置有夹紧台,所述夹紧台的中部开设有夹紧槽。本技术通过物料台、夹紧台、第一气缸、第二气缸和活动台之间配合使...
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