一种芯片光刻机的光刻版取料装置制造方法及图纸

本技术涉及芯片光刻机技术领域，具体为一种芯片光刻机的光刻版取料装置，包括底架，所述底架的顶端正上方设置有物料台，所述物料台的顶端正上方设置有夹紧台，所述夹紧台的中部开设有夹紧槽。本技术通过物料台、夹紧台、第一气缸、第二气缸和活动台之间配合使用，光刻版使用后，松开夹头，这时光刻版会掉落在活动台上的放置槽中，然后通过第一气缸将物料台下拉复位至底架的上端，再启动第二气缸，第二气缸前推活动台，活动台带动放置槽中的光刻版推出，这样在上料和下料的过程中均在光刻机下端部分操作，不会导致灰尘进入光刻机上端部分。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及芯片光刻机，具体为一种芯片光刻机的光刻版取料装置。

技术介绍

1、光刻版是在半导体制造过程中用于光刻的一种光学掩膜，它是一个透明的基材，上面覆盖有光刻图案，光刻图案是由设计师根据集成电路设计的要求制作的，它展示了芯片上各组件的形状、位置和几何参数，光刻版通过光刻机上的光源将图案转移到光刻胶层或光刻掩膜上，然后通过后续的化学处理步骤将图案转移到芯片表面。

2、当前市面上现有的光刻版在加工后，需要将其从光刻机中取出，然而每次取出时，都需要开启光刻机上部，这样外部灰尘极易进入其中，导致影响后期加工，为此我们提出有一种芯片光刻机的光刻版取料装置。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种芯片光刻机的光刻版取料装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种芯片光刻机的光刻版取料装置，包括

4、底架，所述底架的顶端正上方设置有物料台，所述物料台的顶端正上方设置有夹紧台，所述夹紧台的中部开设有夹紧槽，所述夹紧台的内部本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种芯片光刻机的光刻版取料装置，其特征在于：包括

2.根据权利要求1所述的一种芯片光刻机的光刻版取料装置，其特征在于：所述夹紧台(3)的内部活动安装蜗轮(501)，所述蜗轮(501)的内壁处等弧度设置四个凸块(502)，所述推杆(503)远离夹头(6)的一端与凸块(502)活动连接，所述夹紧台(3)靠近蜗轮(501)的外侧一端设置有伺服电机(12)，所述伺服电机(12)的输出轴固定安装蜗杆(13)，所述蜗杆(13)与蜗轮(501)啮合。

3.根据权利要求1所述的一种芯片光刻机的光刻版取料装置，其特征在于：所述夹头(6)靠近推杆(503)的一端外侧设置有第一弹簧...

【技术特征摘要】

1.一种芯片光刻机的光刻版取料装置，其特征在于：包括

2.根据权利要求1所述的一种芯片光刻机的光刻版取料装置，其特征在于：所述夹紧台(3)的内部活动安装蜗轮(501)，所述蜗轮(501)的内壁处等弧度设置四个凸块(502)，所述推杆(503)远离夹头(6)的一端与凸块(502)活动连接，所述夹紧台(3)靠近蜗轮(501)的外侧一端设置有伺服电机(12)，所述伺服电机(12)的输出轴固定安装蜗杆(13)，所述蜗杆(13)与蜗轮(501)啮合。

3.根据权利要求1所述的一种芯片光刻机的光刻版取料装置，其特征在于：所述夹头(6)靠近推杆(503)的一端外侧设置有第一弹簧(14)，所述第一弹簧(14)的另一端与夹紧台(3)固定连接。

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【专利技术属性】
技术研发人员：刘亚辉，
申请(专利权)人：苏州职德教育科技有限公司，
类型：新型
国别省市：