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本公开提供一种边缘研磨设备及边缘研磨方法，该设备包括：装料单元，包括装载入口及第一工作台；第一研磨单元，包括至少两个外周粗磨机构，每个外周粗磨机构包括第二工作台及外周粗磨砂轮，不同外周粗磨机构的研磨参数不同；第一搬运单元，将硅片从第一工作台...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

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