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本发明属于氮化物材料制备技术领域，提供了一种用于生长氮化铝的衬底预处理及单晶薄膜制备方法。该方法是以氮气为氮源，以铝颗粒为铝源，在蓝宝石衬底上使用金属氮化气相外延(MNVPE)装置制备得到。其中，通过预处理方法在蓝宝石衬底上形成凹陷结构，之...
该专利属于河北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过河北工业大学授权不得商用。

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