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本申请公开了一种碳化硅器件制作方法，对需要制造欧姆接触的区域执行如下预处理步骤，包括：前处理，清洗碳化硅表面的所述需要制造欧姆接触的区域，露出清洁的碳化硅表面；在所述碳化硅表面淀积金属膜；在惰性气体的气氛下或者真空下进行硅化物退火，得到含碳...
该专利属于上海瞻芯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海瞻芯电子科技有限公司授权不得商用。

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