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一种研磨液，其含有：磨粒，包含铈氧化物；选自由芳香族羧酸及其盐组成的组中的至少一种芳香族羧酸化合物；及卤化物离子。一种研磨方法，其中，使用所述研磨液对被研磨部件进行研磨。一种零件的制造方法，其中，使用通过所述研磨方法进行研磨的被研磨部件而得...
该专利属于株式会社力森诺科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社力森诺科授权不得商用。

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