下载一种真空环境下带背板的溅射靶材组件绑定复合焊料及其焊接工艺的技术资料

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本发明涉及一种真空环境下带背板的溅射靶材组件绑定复合焊料及其焊接工艺,属于溅射靶材制备技术领域。针对高纯铟焊料稀缺和昂贵的问题,通过调配锡、锌、铜、银、硼、锑、碲、铋及钇等元素,并引入NaCl、KCl、LiF混合熔盐作为保护层,制得具备优异...
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