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一种多孔硅的制备方法技术
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文档序号:43889279
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本发明提供了一种多孔硅的制备方法,属于多孔硅制备技术领域。本发明采用石墨作为刻蚀催化剂,石墨的电负性为2.55,大于硅的电负性1.90,同时具有较高的化学稳定性,高电负性使石墨从Si中夺取电子,空穴则注入Si,Si被氧化,化学稳定性(化学惰...
该专利属于内蒙古工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古工业大学授权不得商用。
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