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本技术提供一种单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，包括单晶炉副室、防护机构、底托及控制机构，其中，防护机构环绕设置于单晶炉副室外侧，防护机构至少包括防护绳、多个防护片以及折叠绳，位于最顶端的防护片固定于单晶炉副室侧壁上，位于最底端的防护片与防护绳...
该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。

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