一种单晶炉卸载晶棒的安全防护装置制造方法及图纸

本技术提供一种单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，包括单晶炉副室、防护机构、底托及控制机构，其中，防护机构环绕设置于单晶炉副室外侧，防护机构至少包括防护绳、多个防护片以及折叠绳，位于最顶端的防护片固定于单晶炉副室侧壁上，位于最底端的防护片与防护绳固定连接，防护绳依次串联多个防护片，折叠绳位于相邻两个防护片之间且折叠绳的两端分别固定于相邻两个防护片上；底托与防护绳为可分离式连接；控制机构至少包括相连接的绕组以及驱动器，驱动器用于控制绕组旋转，以控制防护绳放开或收起。本技术的单晶炉卸载晶棒的安全防护装置防止了卸载晶棒过程中晶棒自然坠落，避免了晶棒的损失以及安全事故的发生。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体，特别是涉及一种单晶炉卸载晶棒的安全防护装置。

技术介绍

1、随着直拉单晶硅生长设备和工艺的技术进步，单晶硅的直径逐步增大到10英寸或12英寸(300mm以上)，晶棒的长度也达到2米以上，甚至对于使用36～40in热场的直拉单晶炉，其单晶晶棒长度达到4m～6m，重量达到400kg～600kg。

2、由于单晶硅生长需要引晶工序的固有特征，晶棒在生长过程中完全有细晶承载其重力载荷。通过籽晶经过引晶工艺后，其细晶的直径往往仅有5mm左右，其承载拉应力非常巨大。一旦外界干扰引入剪应力时，极其容易诱发断裂。另外，现在单晶炉通常是软轴，直径通常也在5mm左右，由于长时间承载拉伸、旋转载荷，拉晶软轴也存在应力疲劳，在承载较大晶棒重量的条件下，软轴有突然断裂的风险。

3、因此，晶棒生长完成后，籽晶绳连接籽晶，将单晶晶棒从单晶炉副室逐步下降到晶棒车的过程中，细晶处以及籽晶绳的断裂将导致已经生长完成的单晶晶棒在重力的作用下，快速砸向取棒车，不但会造成单晶晶棒的损伤，造成重大的经济损失。同时，数百公斤的晶棒脱落也对四周作业人员造成潜在重大本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，其特征在于：所述控制机构中还设有阻尼轴承，所述阻尼轴承用于控制所述绕组以低于预设转速的速度旋转。

3.根据权利要求1所述的单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，其特征在于：所述防护机构处于工作状态时，多个所述防护片在竖直方向上间隔设置。

4.根据权利要求3所述的单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，其特征在于：相邻两个所述防护片之间的间隔距离的范围为1mm～1000mm。

5.根据权利要求1所述的单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，其特征在于：所述防护...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，其特征在于：所述控制机构中还设有阻尼轴承，所述阻尼轴承用于控制所述绕组以低于预设转速的速度旋转。

3.根据权利要求1所述的单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，其特征在于：所述防护机构处于工作状态时，多个所述防护片在竖直方向上间隔设置。

4.根据权利要求3所述的单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，其特征在于：相邻两个所述防护片之间的间隔距离的范围为1mm～1000mm。

5.根据权利要求1所述的单晶炉卸载晶棒的安全防护装置，其特征在于：所述防护装置中设有两根所述防护绳，且两根所述防护绳关于所述单晶炉副室的中心线对称设置。

6.根据权利要求5所述的单晶炉卸载晶棒的安全防护装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志强，
申请(专利权)人：上海新昇半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：