下载一种用于有机电致发光面板的有机薄膜材料沉积装置的技术资料

文档序号:43888015

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本发明涉及有机薄膜材料沉积装置技术领域,且公开了一种用于有机电致发光面板的有机薄膜材料沉积装置,包括工作台,所述工作台的上表面分别开设有环形密封槽和反应槽,且环形密封槽和反应槽同心设置,所述反应槽内安装有用于承载基材的加热台,所述工作台顶部...
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