【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及有机薄膜材料沉积装置，具体为一种用于有机电致发光面板的有机薄膜材料沉积装置。
技术介绍
1、有机电致发光面板，其内部的有机薄膜材料在生产时经过沉积装置在基材表面沉积出一层非常薄的致密薄膜，而沉积过程需要多次，从而产生不同作用的薄膜，有机薄膜材料的沉积方法有很多种，应用较广的有物理沉积法和化学沉积法，其中化学沉积法又分为高压沉积法、低压沉积法和等离子增强型化学气相沉积法，而等离子增强型化学气相沉积法相比其他两种具有需求温度低、沉积均匀性好和效率快等优点被广泛应用于有机薄膜材料的沉积，该沉积方法所需的装置首先就是需要有可以营造稳定的低真空环境的效果，从而方便基材沉积出合格的薄膜。
2、现有的有机薄膜材料沉积装置，反应腔体连接处结构过于简单，在长期使用磨损和外界不良因素干扰下，连接处容易出现密封性问题，导致出现漏气情况，使得腔体无法维持稳定的低真空状态，造成沉积失败，进而造成基材报废和混合气体流出到外界环境的情况，最终导致出现成本浪费和环境污染度的问题。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种用于有机电致发光面板的有机薄膜材料沉积装置，包括工作台（1），所述工作台（1）的上表面分别开设有环形密封槽（2）和反应槽（3），且环形密封槽（2）和反应槽（3）同心设置，所述反应槽（3）内安装有用于承载基材的加热台（4），所述工作台（1）顶部固定安装有电动推杆（8），所述电动推杆（8）输出轴顶端固定安装有用于为基材提供反应空间的反应炉（5），且反应炉（5）位于加热台（4）的正上方，所述反应炉（5）的顶部贯通安装有用于向反应炉（5）内输入反应气体的气体进出流量控制设备（6），所述气体进出流量控制设备（6）的底端安装有用于将反应气体电离成离子形态的高压射频器（7）...
【技术特征摘要】
1.一种用于有机电致发光面板的有机薄膜材料沉积装置，包括工作台（1），所述工作台（1）的上表面分别开设有环形密封槽（2）和反应槽（3），且环形密封槽（2）和反应槽（3）同心设置，所述反应槽（3）内安装有用于承载基材的加热台（4），所述工作台（1）顶部固定安装有电动推杆（8），所述电动推杆（8）输出轴顶端固定安装有用于为基材提供反应空间的反应炉（5），且反应炉（5）位于加热台（4）的正上方，所述反应炉（5）的顶部贯通安装有用于向反应炉（5）内输入反应气体的气体进出流量控制设备（6），所述气体进出流量控制设备（6）的底端安装有用于将反应气体电离成离子形态的高压射频器（7），所述反应槽（3）内贯通连接有用于对反应炉（5）内空气进行抽真空的抽气管（9），且抽气管（9）与外接真空泵相连接；
2.根据权利要求1所述的一种用于有机电致发光面板的有机薄膜材料沉积装置，其特征在于：所述抵接密封机构（10）包括抵接环（1001）和环形空腔（1002），所述环形空腔（1002）开设在反应炉（5）的底部，且抵接环（1001）与环形空腔（1002）滑动连接，所述反应炉（5）底部的内外两侧均开设有与环形空腔（1002）相平行的环形凹槽，且环形凹槽内均粘接有弹性薄膜（1006），所述环形空腔（1002）相对两个弹性薄膜（1006）的内壁上均开设有多个连通环形凹槽的排气孔（1005），且多个排气孔（1005）环形阵列。
3.根据权利要求2所述的一种用于有机电致发光面板的有机薄膜材料沉积装置，其特征在于：所述抵接环（1001）顶部与环形空腔（1002）内壁之间共同固定连接有多个第一弹簧（1004），且多个第一弹簧（1004）环形阵列分布。
4.根据权利要求2所述的一种用于有机电致发光面板的有机薄膜材料沉积装置，其特征在于：所述抵接环（1001）和环形空腔（1002）上均嵌入式安装有第一密封圈（1003），且两个第一密封圈（1003）分别位于抵接环（1001）的两侧。
5.根据权利要求1所述的一种用于有机电致发光面板的有机薄膜材料沉...
【专利技术属性】
技术研发人员：李成明，石超，杨少延，刘祥林，崔草香，朱瑞平，郭柏君，陈兆显，李晓东，
申请(专利权)人：国鲸合创青岛科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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