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本技术公开了一种内置PECVD反应盒的排气装置，包括：真空室与等离子激活系统，所述真空室由真空室上盖板，真空室主体组成，所述真空室内相对设置喷淋电极与地电极，所述喷淋电极的上方连接一喷淋电极反应盒，所述喷淋电极反应盒的边缘下部设置可调节机构...
该专利属于捷造科技（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过捷造科技（宁波）有限公司授权不得商用。

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