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本申请涉及一种OVD工艺用的喷灯机构、沉积设备及控制方法，其包括多个喷灯列，各所述喷灯列包括等间距分布的多个喷灯。本申请引入喷灯最外圈工作气体的分布直径、喷灯在粉棒上火焰落点对应的粉棒的半径、喷灯列中上下相邻的两个喷灯火焰落点在粉棒上的间距...
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