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本发明涉及应变测量技术领域，提供一种温度冲击下的MEMS应变测量装置，包括减震支架、补偿模块、第一测量电阻、第二测量电阻、待测MEMS基底、自动配重装置、温度箱和测量应变花；减震支架包括基板，测量应变花通过分层保温粘接和超声波处理后粘接于待...
该专利属于中国船舶集团有限公司第七〇七研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国船舶集团有限公司第七〇七研究所授权不得商用。

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